pecvd(pulse enhanced chemical vaporized deition，高州parylene，电浆辅助化学气相沉积)工法并配合密闭抽真空设备，所以纳米等级的涂层颗粒可以顺着整机产品的微小缝隙飘进并附着于整机产品内部的大多数角落位置，也因为涂层的缝隙比水分子还小，所以可以起到隔绝湿气对电子产品的影响。另外，由于涂层的厚度大概有5-50nm，弹簧类零件（如连接器）只要经过摩擦就可以轻易的刮除这些涂层，达到电气接触的目的。
首先采用深反应离子刻蚀制作微通道，然后沉积派瑞林涂层c在微通道上，同时派瑞林涂层沉积在纯铁片上，在其上制作金电极，在200℃真空箱内将派瑞林涂层键合，剥去纯铁片以及采用特殊工艺释放（parylene）涂层微通道。通过控制（parylene）涂层沉积的厚度，可以在相同的微通道上制作不同深宽比的派瑞林涂层微通道，同时也可以制作多层结构微通道。用此方法制作的各种微通道(所有微通道的内径为80μm宽、50μm深、壁厚为10μm)。通过此方法，可以快速低成本地制作派瑞林涂层微通道，并通过释放工艺可以获得---的派瑞林涂层微通道，parylene 防水，同时可以重复使用硅模，普遍用于气相色谱分析等微流体系统分析中。派瑞林涂层阻滞性佳，湿气及气体渗透性极低，具高屏障效果，parylene 镀膜，抗酸碱性。
随着激光技术的发展，对薄膜的反射率和透射率有了不同的要求，这促进了多层高反射薄膜和宽带抗反射薄膜的发展。对于各种应用，高反射膜用于制造偏振反射膜、分色膜、发光膜和干涉滤光片等。光学零件表面镀膜后，光在膜层上多次反射透射，形成多光束干涉。通过控制薄膜层的折射率和厚度，可以获得不同的强度分布，这就是干涉涂层。
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