首先采用深反应离子刻蚀制作微通道，真空镀膜材料，然后沉积派瑞林涂层c在微通道上，同时派瑞林涂层沉积在纯铁片上，在其上制作金电极，在200℃真空箱内将派瑞林涂层键合，剥去纯铁片以及采用特殊工艺释放（parylene）涂层微通道。通过控制（parylene）涂层沉积的厚度，可以在相同的微通道上制作不同深宽比的派瑞林涂层微通道，真空镀膜涂料，同时也可以制作多层结构微通道。用此方法制作的各种微通道(所有微通道的内径为80μm宽、50μm深、壁厚为10μm)。通过此方法，可以快速低成本地制作派瑞林涂层微通道，并通过释放工艺可以获得---的派瑞林涂层微通道，同时可以重复使用硅模，普遍用于气相色谱分析等微流体系统分析中。派瑞林涂层阻滞性佳，潮州真空镀膜，湿气及气体渗透性极低，具高屏障效果，抗酸碱性。
真空镀膜加工技能在塑料制品的运用上比较广泛。塑料具有易成型，成本低，轻，不腐蚀等特点，因而塑料制品运用广泛，但因其缺点制约了扩大运用，如不漂亮、易老化、机械性能差、耐热差、吸水率---。经过真空镀膜技能的运用，使塑料外表金属化，将有机资料和无机资料结合起来，---进步了它的物理、化学性能。
真空镀膜加工技能是一种新颖的资料组成与加工的新技能，是外表工程技能范畴的主要组成部分。真空镀膜加工技能是使用物理、化学手法将固体外表涂复一层特殊功能的镀膜，然后使固体外表具有耐磨损、耐高温、耐腐蚀、、防辐射、导电、导磁、绝缘和装修等许多优于固体资料本身的优胜功能，到达提高商品、延伸商品寿数、节约能源和取得明显技能经济效益的效果。
派瑞林薄膜具有的材料属性，被fda---为第vi类高分子材料，它具有---良的生物相容性、低渗透性、化学惰性和非常低的毒性。组织培养表明：人类细胞更容易在派瑞林表面生长。
派瑞林作为涂层通过的制备涂覆于表面，该涂层超薄敷形性好、耐腐蚀、与人体组织及------相容，它不仅提供了惰性、生物相容的隔离层，还可有效的防止外界的化学品、水分和---的侵蚀。
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