









首先采用深反应离子刻蚀制作微通道,然后沉积派瑞林涂层c在微通道上,同时派瑞林涂层沉积在纯铁片上,纳米派瑞林镀膜供应商,在其上制作金电极,在200℃真空箱内将派瑞林涂层键合,剥去纯铁片以及采用特殊工艺释放(parylene)涂层微通道。通过控制(parylene)涂层沉积的厚度,可以在相同的微通道上制作不同深宽比的派瑞林涂层微通道,同时也可以制作多层结构微通道。用此方法制作的各种微通道(所有微通道的内径为80μm宽、50μm深、壁厚为10μm)。通过此方法,可以快速低成本地制作派瑞林涂层微通道,并通过释放工艺可以获得---的派瑞林涂层微通道,同时可以重复使用硅模,普遍用于气相色谱分析等微流体系统分析中。派瑞林涂层阻滞性佳,湿气及气体渗透性极低,派瑞林真空气相镀膜,具高屏障效果,抗酸碱性。

派拉纶(parylene)涂层工艺是使用化学气相沉积(cvd)工艺在真空下沉积的。派拉纶(parylene)的(cvd)工艺分为三个步骤(升华,热解,沉积)。首先,将二聚体(具有两个重复单元的前体)升华。下一步,在高于> 500°c的温度下通过热解将二聚体裂解为两种单体。然后,单体在基材表面(以及腔室表面)上聚合,形成线性聚合物链。后一步在室温下进行,得到派拉纶(parylene)保形涂层。通过的真空镀膜机,派瑞林真空镀膜,进行的镀膜加工生产。

人们有时还会用千分尺来测量涂层的厚度。它们具有测量任何涂层与基体组合的优点,但缺点是需要接触到的基底面。
接触涂层的上表面和基底的下表面有时是非常困难的,英德派瑞林镀膜,并且它们通常不------确、灵敏的测量出某些薄涂层的厚度。因此,利用该方法必须进行两次测量,一次是在含有涂层的表面上进行测量,另一次则是在没有涂层的表面上进行测量。这两个度数的差值,也即是测量的高度差,就是该涂层的厚度大小。在一些粗糙表面上,该方法一般在较高处测量涂层的厚度。

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