









原子层沉积是通过将气相前驱体脉冲交替地通入反应器并在沉积基体上化学吸附并反应而形成沉积膜的一种方法(技术)。当前驱体达到沉积基体表面,它们会在其表面化学吸附并发生表面反应。在前驱体脉冲之间需要用惰性气体对原子层沉积反应器进行清洗。由此可知沉积反应前驱体物质能否在被沉积材料表面化学吸附是实现原子层沉积的关键。气相物质在基体材料的表面吸附特征可以看出,任何气相物质在材料表面都可以进行物理吸附,但是要实现在材料表面的化学吸附必须具有一定的活化能,因此能否实现原子层沉积,选择合适的反应前驱体物质是很重要的。

派瑞林不仅绝缘防锈性能非常的好而且生物相容性也---,它已通过论证,满足美国药典生物材料vi类的标准,被列为是一种可以在体内长期植入使用的生物材料。随着生物电子科学的不断进步和发展,微电极镀膜,在国外除了---起搏器用派瑞林进行---绝缘防护外,脑电极、植入式传感器、---分析传感器和高频手术刀等微型电子,也都有使用派瑞林。
派瑞林(parylene)是六十年代中期美国union carbide co.开发应用的一种新型敷形涂层材料,它可以涂层到各种形状的表面,在盐雾、霉菌、潮湿、腐蚀性等---环境中有---的隔离防护功能。派拉纶在保护中的应用,是保护技术之一,它能解决其它材料不能解决的保护问题。

parylene涂敷是由活性的对二双游离基小分子气在印制电路组件表面沉积聚合完成,化州镀膜,气态的小分子能渗透到任何一个细小缝隙的基材上沉积,形成分子量约50万的高纯聚合物。微米级涂层能对印制电路组件的表面提供非常---的防护,键盘真空镀膜,既不会对基材形成伤害,而且有利于元器件散热。克服了传统液体涂料厚度不均匀,涂敷不完全等缺点;在传感器领域中,parylene除了作绝缘介质外,更多用作防护材料,它---酸、碱和,对水汽和盐雾等---环境有的阻隔防护能力,用极薄的涂层提供---的防护;
派瑞林(parylene)它可在真空下气相沉积,派瑞林(parylene)活性分子的---透力能在元件内部、底部,磁性材料镀膜,周围形成无,厚度均匀的透明绝缘涂层,给元件提供一个完整的防护涂层,抵御酸碱、盐雾、霉菌及各种腐蚀性气件的---,因为parylene不是液体,所以涂敷过程中不会---,桥接式形成弯月面。

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