parylene是20世纪60年代中期美国联合碳化物公司开发的一种分子级敷型涂层材料，是的聚对二(poly-p-xylylene)聚合物系列的通用名称，根据分子结构的不同，可分为parylene n、c、d、ht、f型等多种类型。
parylene n是一种---的介电材料，具有非常低的介质损耗、高绝缘强度以及不随频率变化的介电常数。它是所有parylene中穿透能力高的一种，有---的自润滑性，摩擦系数为0.25。符合iso-10993生物试验要求，符合udp第六类塑料的生物试验要求。
采用压力控制器方案，马达风扇镀膜，控制往真空腔体内充入的惰性气体的压力以营造一个控制---的镀膜环境。与反应腔体直接连接的外置真空计测量持续的过程压力，该压力读数通过模拟信号传输到压力控制器并显示。
进入腔体内的参与反应的气体的流量由流量控制器控制。因为上述的压力控制器可以测得腔体内的压力、并通过调节非反应类气体的含量实时调节过程压力，从而使腔体内形成利于沉积的镀膜环境。
首先采用深反应离子刻蚀制作微通道，然后沉积派瑞林涂层c在微通道上，同时派瑞林涂层沉积在纯铁片上，电路板镀膜，在其上制作金电极，在200℃真空箱内将派瑞林涂层键合，剥去纯铁片以及采用特殊工艺释放（parylene）涂层微通道。通过控制（parylene）涂层沉积的厚度，可以在相同的微通道上制作不同深宽比的派瑞林涂层微通道，中山镀膜，同时也可以制作多层结构微通道。用此方法制作的各种微通道(所有微通道的内径为80μm宽、50μm深、壁厚为10μm)。通过此方法，可以快速低成本地制作派瑞林涂层微通道，真空镀膜，并通过释放工艺可以获得---的派瑞林涂层微通道，同时可以重复使用硅模，普遍用于气相色谱分析等微流体系统分析中。派瑞林涂层阻滞性佳，湿气及气体渗透性极低，具高屏障效果，抗酸碱性。
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