目前使用的parylene主要有parylene n,parylene 耐温,parylene c和parylene d三种,其共同点是高度惰性与高纯度,而每一种型号又有各自不同特点:parylene n 具有---的击穿强度,同时具有与频率无关的低介电常数;parylene c提供了的电气特性和物理特性的组合,包括潮热环境和腐蚀性气体环境下的低渗透率;parylene d 通过高温下优良的物理和电性能---了热稳定性。parylene ht是具备上述三种材料优点的一种组合材料。下面主要以 parylene n和 parylene c为例,介绍 parylene的主要特性。
由于parylene涂层材料是在真空下沉积而成,是裂解的分子重新聚合形成的防护材料,属分子级的生长,parylene 防水,生成的涂层致密稳定、摩擦系数小,且随着涂层生长厚度的增加,摩擦系数减小。在厚度为0.5μm时,摩擦系数仅相当于硅涂覆层的一半,厚度为2μm时的摩擦系数,仅相当于0.5μm厚涂层摩擦系数的1 /4。
parylene 材料有---的物理和机械性能,其和常用涂层的物理和机械性能比较如表 1 所示,从表中可以看出,其抗拉强度、线膨胀系数、硬度数值等参数相对稳定,parylene 镀膜,变化范围小,摩擦系数较小。
派瑞林涂层用于生物的表面(如骨钉、探针、导丝、起搏器、脑电极、植入式传感器等),以其较好的耐腐蚀、耐,、低阻滞性、低摩擦系数及生物相容性,将逐步取代tini(镍钛)合金涂层而被越来越多的用户选择。
派瑞林涂层用于硅片、芯片、半导体表面,能有效隔绝空气中的水氧,起到---的封装作用。
派瑞林涂层用于和书籍画卷的表面,连州parylene,加固纸张的质地,在表面增加保护层,起到防蛀、防霉、的作用。
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