派瑞林涂层薄膜的止回阀。微阀具有扭曲型的派瑞林涂层膜， 当有流体顺流时， 派瑞林涂层薄膜抬起， 允许流体通过; 当有流体逆时，派瑞林涂层薄膜封住了通道阻止其流动。该结构的微阀顺流冲破压力小于0. 5 kpa， 逆流的制止压力达600 kpa以上， 同时具有较低的反向泄漏， 性能---。由于派瑞林涂层较小的杨氏模量，键盘真空镀膜， 产生了较大的变形，梅州镀膜， 基本可以忽略由薄膜引起的流体阻抗。单通道常闭微止回阀， 整个微阀和微通道都是由派瑞林涂层 c制成的， 其结构为在圆形阀座上的一个圆形的密封板。密封板是固定在子腔薄膜的顶部中心， 由于---压强使子腔压缩到底部， 从而获得微阀的闭合模式。这种新型的子腔结构是通过没有层结构的释放和在真空条件下派瑞林涂层薄膜的气相沉积来实现的。通过减小密封板和阀座的重叠面积和溅射金属金来减小静摩擦力， 从而减小顺流冲破压力。此种结构的微阀的顺流冲破压力为20～40 kpa， 在逆流压力为270 kpa也不会出现可见的泄露现象。
派瑞林(parylene)中文名为聚对二，是一种高分子热可塑性聚合体，水表镀膜，由单体对二在真空状态下均匀分布在被涂装物的缝隙和表层然后聚合。运用气相沉积的处理技术，可以于物体表面均匀涂覆形成膜厚，是一种保护性高分子材料。派瑞林(parylene)它可在真空下气相沉积，派瑞林(parylene)活性分子的---穿透力能在元件内部、底部，周围形成无，厚度均匀的透明绝缘涂层，给元件提供一个完整的防护涂层，抵御酸碱、盐雾、霉菌及各种腐蚀性气件的---，这种室温沉积制备的0.1～100μm薄膜涂层，厚度均匀、致密无、透明无应力、不含助剂、不损伤工件、有优异的电绝缘性和防护性，是当代有效的防潮、防霉、防腐、防盐雾涂层材料。
1、纳米涂层可以涂刷在各种金属或是其他长时间需要耐磨的基体上，其优异的性能可防止金属间磨损、擦伤及烧结，有效保护易磨损部位和提高设备运转周期。
2、纳米涂层硬度高，可达8h，摩擦系数低可低至0.06一0.08，而且涂层致密光滑，附着力好，保护基材不被接触粉料、物料颗粒物磨损损耗，镀膜涂层，长期保护基体。另外，还可以耐疲劳磨损、耐冲蚀磨损、耐磨粒磨损、耐粘着磨损。
3、纳米涂层厚度很薄，不影响零件的尺寸和机械强度，且能根据使用条件的要求膜厚的厚度，---材料的原性能和耐磨。
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