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led产品及其主要元器件的使用环境对其性能和---性影响很大,环境中的潮气、粉尘、酸雨都可能使其氧化侵蚀。潮气渗透到led芯片内部,受热膨胀形成水蒸气产生压力可能导致led封装开裂,并使芯片内部金属氧化,导致led元器件失效。根据led电子产品表面结构特性和使用特点,目前菱威科技的派瑞林(parylene)镀膜技术较适合led产品的表面防护应用。

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在日常的操作中,有些用户由于其操作不当导致镀膜效果欠佳的问题,在pvd真空镀膜过程中,镀膜机腔体内的压力波动将导致镀膜不均匀以及重复性欠佳。流量控制器控制反应气体的同时,采用压力控制器控制腔体内惰性气体的压力,从而提升终等离子气相沉积(pvd)的结果。

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